超声波空蚀阀值和超音波的频率有密切相关，频率越高，空蚀阈越高。也就是说，频率越高，在液态时要造成空蚀所必须的声强级或声压级也越大;频率低，空蚀非常容易造成，另外在低頻状况下，液态遭受的缩小和功效有更长的间隔时间。使汽泡在奔溃前要生长发育到很大的规格，提高空蚀抗压强度，有益于清理功效。

现阶段RCA清洗机的输出功率依据清理目标，大概分成三个频率段：低频率超声清洗(20一50KHz)，高频率超声清洗(50—200KHz)和MHz超声清洗(700KHz一1MHz之上)。

低頻超声清洗适用大型部件表层或是废弃物和清理件表层融合抗压强度高的场所。频率的中低端，空蚀抗压强度高。易浸蚀清理件表层，不适合清理表层光滑度高的构件，并且空蚀噪音大。

40KHz上下的频率，在同样声强级下，造成的空蚀泡总数比频率为20KHz时多，穿透性较强，宜清理表层样子繁杂或有埋孔的产品工件，空蚀噪音较小。但空蚀抗压强度较低，合适清理废弃物与被清理件表层结合性较差的场所，高频率超声清洗适用电子计算机。

微电子元器件的细致清理，如硬盘、控制器，读写能力头，液晶面板及平面图显示屏，微部件和打磨抛光金属产品等的清理.这种清理目标规定在清理全过程中不可以遭受空蚀浸蚀.要能洗去μm级的废弃物。   

MHz超声清洗适用集成电路芯片集成ic、单晶硅片及簿膜等的清理。能除去μm、亚微米级的废弃物而对清理件沒有一切损害。由于这时不造成空蚀.其清理原理主要是声强梯度方向.颗粒速率和弦流的功效。特性是清理专一性强，被清理件一般放置与声束平行面的方位。

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